很多工厂在进行无尘车间设计时都会先进行无尘车间方案的确定,在微电子生产工艺的无尘车间内,根据产品的生产流程将无尘车间划分为换鞋区、风淋室、货淋室、半成品区、成品装配区、成品包装区等多个区域。每个区域都达到标准的无尘标准进行技术性配置,这些都是无尘车间标准规范的基本要求。
(1)天花:洁净区及生产区域用双层优质保温(PU)彩钢板,无尘明亮。符合电子厂房洁净防静电要求。
(2)间隔:洁净区及生产区用双面彩钢保温(PU)板围护及间隔。洁净车间内间隔与地面及无花交角做元弧及阴角接口,防积尘及易于卫生清洁。外墙要求表面整洁、平整,典型的建筑材料有砖混墙、剪力墙、钢结构等,并具有外保温层。内墙表面应坚固光洁、平整、不起灰、不产生静电、耐腐蚀、耐冲击、易清洗、无气孔。墙四周密封无缝隙。地面应光滑、平整、无缝隙、耐腐蚀、耐冲击、不积聚电,易除尘清洗且耐潮防水。
(3)密闭门:单扇门:900*2000,上做玻璃观察窗(同间隔墙平窗尺寸),装通道锁,门及门框采用不锈钢制作。
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